合肥中安创谷量子实验室一期class100级净化工程

先进量子计算机芯片百级实验室净化工程，本工程对净化系统、特殊气体、高纯度纯水等特殊工艺配套设备、管路，以及光刻区黄光及微振方面等提出了更严格的要求，公司最终设计、施工实现了百级间空调温度差0.5、湿度差5%的高精度要求，以及对空调温湿度、特殊气体、工艺设备、管路、流量、压差等实现自动调节和远程实时控制。